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產品名稱:

七星華創質量流量控制器

產品型號: CS300
產品時間: 2024-06-13
描述:七星華創質量流量控制器
CS300型質量流量控制器信息由北京七星華創電子股份有限公司為您提供,如您想了解更多關于CS300型質量流量控制器報價、型號、參數等信息,歡迎來電或留言咨詢。
注:對于醫療器械類產品,請先查證核實企業經營資質和醫療器械產品注冊證情況

產品介紹

七星華創質量流量控制器

CS300型質量流量控制器信息由北京七星華創電子股份有限公司為您提供,如您想了解更多關于CS300型質量流量控制器報價、型號、參數等信息,歡迎來電或留言咨詢。

注:對于醫療器械類產品,請先查證核實企業經營資質和醫療器械產品注冊證情況

七星華創質量流量控制器


產品簡介

CS300系列產品特點: 
1. 與氣體接觸的零件表面經過電化學拋光處理,粗糙度達到Ra 5μinch。
2. 與氣體接觸的零件表面化學成分:Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)。
3. 具有壓力補償功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W,C,B型IGS氣路系統

類號

CS310C

CS320C

閥類型

Normally Closed or Normally Open

No Valve

Normally Closed or Normally Open

No Valve

流量規格(N2)

(01,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(01,2,3,5,10,20,30)                  SLM

準確度

±1% S.P. (35% F.S.)

±0.35% F.S. (35% F.S.)

±0.80% S.P. (30% F.S.)

±0.24% F.S. (30% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

 0.8sec             0.5sec  optional

工作壓差范圍

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

溫度系數

Zero: ≤±0.02% F.S./℃ Span: ≤±0.05% F.S./℃

耐壓

3.5MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

Metal

工作環境溫度

050

輸入信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

輸出信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

零漂

0.6%F.S. per year without autozero

電源

±11±16 VDC (雙極 +11+28 VDC (單極)

表面化學成分

Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

Ra  5μinch

標準接頭形式

VCR1/4陽接頭;

1.125C型密封接頭

1.125W型密封接頭

1.5B型密封接頭

1.5C型密封接頭

1.5W型密封接頭

電源接頭形式

D sub 9 pins maleD sub 15 pins maleDeviceNet male

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

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